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ウェハ加熱用トレイ(石英製)

型番 商品名 サイズ(mm) 価格 販売価格 納期
TSHT-120-SET 4インチウェハ加熱用トレイ トレイ外寸:W130xD200xH32
取手掛部込
トレイ内寸:W120xD120xH14
凸面上より
460,000 368,000 1ヵ月
TSHT-170-SET 6インチウェハ加熱用トレイ トレイ外寸:W180xD260xH34
取手掛部込
トレイ内寸:W170xD170xH14
凸面上より
600,000 480,000 1ヵ月
特注サイズ品もお見積もり致します。
特 徴
●Si,GaAs,InP、SiCなどの半導体ウェハやガラス基板の加熱処理に最適です。
●溶融石英ガラス製で耐加熱、耐薬品性に優れております。(最高使用温度1,000度C)
●トレイ底面は凸面加工されており、ウェハとの接触面積が少なく加熱・冷却がスムーズにできます。
●移送用に脱着可能なハンドルとトレイ用受皿付きです。
●ご使用の加熱炉・試料サイズに合わせた仕様についても別途ご相談いたします。

wafer-heat-tray1.jpg
全体構成