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ウェハラック(石英製)

型番 商品名 サイズ(mm) 価 格 販売価格 納期
TSRK-3-9 3インチウェハ用 9段ラック ラック外寸:126x126xH180 ロッド除く
トレイ有効内寸:直径85xH14
420,000 336,000 1.5ヵ月
特注サイズ品もお見積もり致します。
特 徴
●Si,GaAs,InP、SiCなどの半導体ウェハやガラス基板の乾燥、薄膜形成、加熱処理などに用います。
●溶融石英ガラス製で耐加熱、耐薬品性に優れております。(最高使用温度1,000度C)
●トレイの各段に幅20mmの切欠きが設けてあり、ピンセットで容易にウェハの出し入れができます。
●トレイの各段に直径50mmの穴が設けてあり、裏面も処理が可能です。
●トレイは3本の石英ロッドの支柱で溶接固定されております。
●ウェハのこぼれ防止用に抜き差し可能なストッパーロッドをセットできます。
●ご使用の加熱炉・試料サイズ・枚数に合わせた仕様についても別途ご相談いたします。

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全体構成
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天板部とストッパーロッド