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加熱型簡易プローバーXYZシーター機能付き

半導体デバイスの信頼性試験やデバイス特性評価試験などの用途で使用できる加熱型の簡易プローバーです。
お客様のニーズに合ったヒータや顕微鏡の仕様、並びにXYZ シータ機構のカスタマイズに対応いたします。

puroba1.jpg puroba.jpg*プレートでは350℃まで、対応可能です。
puroba2.jpg*当プローバーの顕微鏡はNIKONです。ヒータはHAKKOを使用しております。お客様の用途に合わせて他メーカのものを組み込むことも可能です。